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石英精餾塔在四氯化硅（SiCl?）精餾中應(yīng)用
石英（主要成分SiO?）在四氯化硅精餾中，也是其不可替代的原因，在于其的金屬惰性和純度。
消除金屬污染源：即使采用經(jīng)過電解拋光（EP）處理的高品質(zhì)不銹鋼（如316L），在長期與高溫、含氯的SiCl?及其中痕量HCl接觸后，仍有極微量金屬離子（如Fe、Cr、Ni）溶出的風(fēng)險。對于光纖預(yù)制棒等應(yīng)用，任何痕量的過渡金屬離子（如Fe、Cu、Cr）都會極大地增加光纖的光衰減，是絕對不允許的。石英材質(zhì)從根本上杜絕了這種污染。
耐腐蝕性：石英對SiCl?、HCl以及其混合體系具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性，不發(fā)生腐蝕。
石英精餾塔并非SiCl?精餾的主流選擇，而是用于最終端的超高純產(chǎn)品精制階段：
光纖級四氯化硅（用于制造二氧化硅預(yù)制棒）：這是石英塔最典型、最主要的應(yīng)用領(lǐng)域。光纖對傳輸損耗要求，痕量的金屬雜質(zhì)是導(dǎo)致光信號衰減的關(guān)鍵因素。因此，在生產(chǎn)光纖核心原料——超高純SiCl?的最后一道精餾工序中，普遍使用石英塔。
半導(dǎo)體級硅外延沉積的特定前驅(qū)體：在少數(shù)對金屬雜質(zhì)控制要求超越常規(guī)電子級的特殊半導(dǎo)體工藝中，可能會使用石英塔精制的SiCl?。
其系統(tǒng)組成與不銹鋼填料塔類似，但材質(zhì)和部分設(shè)計有特殊之處：
塔體：
由高純度透明石英玻璃制成。
結(jié)構(gòu)通常為法蘭連接的多段式，便于制造、運輸和內(nèi)部填料的裝填。
法蘭密封是關(guān)鍵技術(shù)點，通常使用高純度氟橡膠O型圈或柔性石墨墊片，并在外圍采用水冷夾套進行冷卻，防止密封件因高溫失效。
內(nèi)部構(gòu)件：
填料：同樣使用規(guī)整填料，但材質(zhì)是石英。石英規(guī)整填料的制造難度和成本遠高于金屬填料。
分布器/再分布器：也由石英玻璃精心吹制而成，結(jié)構(gòu)通常比金屬件更簡單，以確保強度和分布的均勻性。
塔釜：通常是一個石英玻璃的蒸發(fā)器，外部用電加熱套或紅外加熱器進行加熱。由于石英導(dǎo)熱性不如金屬，加熱需要特別均勻以避免熱應(yīng)力破裂。
輔助系統(tǒng)：
加熱系統(tǒng)：避免明火直接加熱，采用電加熱套或遠紅外加熱器，以實現(xiàn)均勻、可控的加熱，防止石英因局部過熱而破裂。
保溫：使用柔軟、輕質(zhì)的保溫材料（如陶瓷纖維毯）包裹塔體，避免對石英設(shè)備產(chǎn)生機械應(yīng)力。
真空系統(tǒng)：同樣需要干式真空泵，要求更高，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運行，避免壓力劇烈波動對脆弱石英設(shè)備造成沖擊。
